Содержимое раздела
В данном разделе рассматривается оже-электронная спектроскопия (ОЭС), как метод анализа поверхности. Объясняются процессы, лежащие в основе оже-спектроскопии, включая ионизацию атомов и эмиссию оже-электронов. Описывается связь между кинетической энергией оже-электронов и элементным составом поверхности. Анализируются области применения ОЭС, сравнение с РФЭС, преимущества и недостатки. Обсуждаются методики подготовки образцов и обработки данных, а также влияние различных факторов на результаты анализа.