Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы формирования и свойств тонких пленок 2
- - Методы получения тонких пленок и их структура 2.1
- - Электрофизические свойства тонких пленок 2.2
- - Влияние факторов окружающей среды на свойства тонких пленок 2.3
- Методы измерения электрофизических параметров тонких пленок 3
- - Измерение электрического сопротивления и проводимости 3.1
- - Измерение диэлектрической проницаемости 3.2
- - Измерение эффекта Холла и других электрофизических параметров 3.3
- Метрологическое обеспечение измерений и стандартизация 4
- - Метрологические стандарты и требования к точности измерений 4.1
- - Калибровка и поверка средств измерений 4.2
- - Обеспечение прослеживаемости результатов измерений 4.3
- Анализ и практические примеры применения 5
- - Применение в различных типах военной техники 5.1
- - Анализ результатов измерений и сравнение методов 5.2
- - Рекомендации по улучшению метрологического обеспечения 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7