Содержание
- Введение 1
- Кристаллическая структура и основные свойства кремния 2
- - Кристаллические модификации кремния 2.1
- - Физические свойства монокристаллического кремния 2.2
- - Химические свойства и реакционная способность 2.3
- Методы получения монокристаллического кремния 3
- - Метод Чохральского 3.1
- - Зонная плавка 3.2
- - Метод Bridgman 3.3
- Обработка монокристаллического кремния и создание полупроводниковых структур 4
- - Механическая обработка кремния 4.1
- - Легирование кремния 4.2
- - Формирование полупроводниковых структур 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6