Содержание
- Введение 1
- Основы Полупроводниковой Технологии 2
- - Физико-химические процессы в производстве ИС 2.1
- - Технологии формирования слоев и структур в ИС 2.2
- - Контроль качества и тестирование полупроводниковых пластин 2.3
- Обрабатывающие Группы Процессов и их Классификация 3
- - Процессы формирования тонких пленок 3.1
- - Процессы фотолитографии и травления 3.2
- - Процессы легирования и металлизации 3.3
- Интеграция Процессов и Современные Технологии 4
- - Влияние технологических параметров на характеристики ИС 4.1
- - Современные тенденции в производстве ИС 4.2
- - Примеры реальных технологических процессов 4.3
- Практическое Применение и Анализ Данных 5
- - Анализ влияния технологических параметров на производительность 5.1
- - Анализ дефектов и методы их устранения 5.2
- - Примеры оптимизации технологических процессов 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7