Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы оптических измерений линейных размеров 2
- - Принципы интерференции и их применение в измерениях 2.1
- - Дифракция света и ее использование в оптических приборах 2.2
- - Разрешающая способность оптических систем 2.3
- Классификация и устройство оптических приборов для измерения линейных размеров 3
- - Микроскопы и их применение в измерениях 3.1
- - Профилометры: принципы работы и области применения 3.2
- - Интерферометры: конструкция и принципы измерений 3.3
- Практическое применение оптических приборов 4
- - Оптические измерения в машиностроении 4.1
- - Применение оптических приборов в микроэлектронике 4.2
- - Оптические измерения в материаловедении 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6