Содержание
- Введение 1
- Основные характеристики плазмы тлеющего разряда 2
- - Механизмы возбуждения и ионизации 2.1
- - Энергетические характеристики плазмы 2.2
- - Влияние давления на свойства плазмы 2.3
- Теоретические модели плазмы тлеющего разряда 3
- - Кинетическая модель плазмы 3.1
- - Самосогласованные поля 3.2
- - Модели химической кинетики 3.3
- Диагностика плазмы тлеющего разряда 4
- - Спектроскопические методы 4.1
- - Электрические зонды 4.2
- - Масс-спектрометрия 4.3
- Применение плазмы тлеющего разряда 5
- - Газоразрядные лампы 5.1
- - Плазменная обработка материалов 5.2
- - Аналитические приложения 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7