Содержание
- Введение 1
- Физические основы плазмы и ее взаимодействие с материалами 2
- - Основные параметры плазмы 2.1
- - Механизмы взаимодействия плазмы с поверхностью материалов 2.2
- - Методы диагностики плазмы 2.3
- Обзор современных методов плазменной обработки 3
- - Плазменное напыление (PVD и CVD) 3.1
- - Плазменное травление и модификация поверхности 3.2
- - Плазменная стерилизация и активация 3.3
- Применение плазменной обработки в промышленности 4
- - Обработка металлических изделий 4.1
- - Обработка полимерных материалов 4.2
- - Применение в автомобильной и авиационной промышленности 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6