Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы политипизма карбида кремния 2
- - Кристаллическая структура и схемы упаковки SiC 2.1
- - Механизмы образования различных политипов SiC 2.2
- - Характеристики основных политипов SiC (3C, 4H, 6H) 2.3
- Методы получения различных политипов SiC 3
- - Метод Ллейделя и возгонка с последующим осаждением 3.1
- - Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) 3.2
- - Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) 3.3
- Влияние политипа на свойства и применение SiC 4
- - Связь структуры и свойств SiC 4.1
- - Применение политипов SiC в силовой электронике 4.2
- - Перспективы использования SiC в других областях 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6