Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы метода геттеринга 2
- - Термодинамика и кинетика геттеринга 2.1
- - Основные типы геттеров 2.2
- - Факторы, влияющие на эффективность процесса 2.3
- Технологические аспекты получения кремния методом геттеринга 3
- - Подготовка сырья и плавка 3.1
- - Процесс геттерирования расплава 3.2
- - Кристаллизация кремния 3.3
- Анализ примесей в кремнии, полученном методом геттеринга 4
- - Методы анализа примесей в кремнии 4.1
- - Типы примесей и их влияние на свойства кремния 4.2
- - Эффективность удаления примесей методом геттеринга 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6