Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы поверхностного легирования 2
- - Основные механизмы диффузии 2.1
- - Термодинамика легирования 2.2
- - Кинетика легирования 2.3
- Методы поверхностного легирования 3
- - Ионная имплантация 3.1
- - Газофазное легирование 3.2
- - Лазерное легирование 3.3
- Анализ свойств легированных материалов 4
- - Влияние на механические свойства 4.1
- - Влияние на коррозионную стойкость 4.2
- - Влияние на электрофизические свойства 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6