Содержание
- Введение 1
- Химические основы полупроводниковых материалов 2
- - Кристаллическая структура и типы полупроводников 2.1
- - Легирование полупроводников: принципы и методы 2.2
- - Химические реакции при создании полупроводниковых приборов 2.3
- Химия диэлектрических и проводящих материалов 3
- - Диэлектрические материалы: свойства и применение 3.1
- - Проводящие материалы: металлы и сплавы 3.2
- - Химические аспекты создания тонких пленок 3.3
- Химические процессы в производстве электронных компонентов 4
- - Травление и осаждение материалов 4.1
- - Фотолитография и химическое формирование рисунка 4.2
- - Химическая очистка и подготовка поверхностей 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6