Содержание
- Введение 1
- Физические основы тлеющего разряда 2
- - Процессы ионизации и рекомбинации 2.1
- - Роль электрического поля 2.2
- - Кинетика частиц в тлеющем разряде 2.3
- Влияние свойств рабочего газа на параметры тлеющего разряда 3
- - Выбор рабочего газа 3.1
- - Влияние давления газа 3.2
- - Влияние примесей 3.3
- Методы создания и диагностики тлеющего разряда 4
- - Электрические схемы возбуждения разряда 4.1
- - Оптическая эмиссионная спектроскопия 4.2
- - Зондовые измерения 4.3
- Практическое применение тлеющего разряда 5
- - Спектральный анализ 5.1
- - Газоразрядные источники света 5.2
- - Плазменная обработка материалов 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7