Содержание
- Введение 1
- Основные принципы работы ионных откачек 2
- - Физические основы ионной откачки 2.1
- - Конструкция и типы ионных откачек 2.2
- - Параметры и характеристики ионных откачек 2.3
- Математическое моделирование процессов в ионных откачках 3
- - Уравнения и модели ионизации газа 3.1
- - Моделирование движения ионов в электрическом и магнитном полях 3.2
- - Расчет характеристик и оптимизация параметров 3.3
- Влияние различных факторов на эффективность откачки 4
- - Влияние состава газа и давления 4.1
- - Влияние температуры и магнитного поля 4.2
- - Методы оптимизации ионной откачки 4.3
- Практическое применение ионных откачек: примеры и расчеты 5
- - Применение в научных исследованиях 5.1
- - Применение в промышленности 5.2
- - Примеры расчета параметров и эксплуатация 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7