Содержание
- Введение 1
- История развития кремниевой микроэлектроники 2
- - Изобретение транзистора и первые интегральные схемы 2.1
- - Закон Мура и масштабирование транзисторов 2.2
- - Основные этапы развития фотолитографии 2.3
- Физические и химические основы кремниевой технологии 3
- - Свойства кремния и его применение в микроэлектронике 3.1
- - Процессы диффузии и окисления кремния 3.2
- - Легирование кремния и создание p-n переходов 3.3
- Современные тенденции в кремниевой микроэлектронике 4
- - Многоядерные процессоры и параллельные вычисления 4.1
- - Трехмерная интеграция и новые материалы 4.2
- - Нанотехнологии в кремниевой микроэлектронике 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6