Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы РФЭС 2
- - Фотоэмиссионный эффект и его физические основы 2.1
- - Энергетические уровни и спектры РФЭС 2.2
- - Влияние факторов на спектры РФЭС 2.3
- Методы РФЭС и обработка данных 3
- - Типы анализаторов энергии электронов 3.1
- - Подготовка образцов для РФЭС 3.2
- - Обработка и анализ данных РФЭС 3.3
- Применение РФЭС в материаловедении и других областях 4
- - Анализ элементного состава и химического состояния 4.1
- - Применение РФЭС в физике поверхности и химии 4.2
- - Применение РФЭС в электронике и нанотехнологиях 4.3
- Примеры практических исследований 5
- - Анализ тонких пленок методом РФЭС 5.1
- - Изучение наноструктур с помощью РФЭС 5.2
- - Количественный анализ элементного состава 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7