Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы чистоты материалов 2
- - Типы примесей и их влияние на свойства материалов 2.1
- - Методы оценки чистоты материалов 2.2
- - Термодинамические основы процессов очистки 2.3
- Химические методы очистки материалов 3
- - Ректификация и дистилляция 3.1
- - Экстракция и ионный обмен 3.2
- - Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) 3.3
- Физические методы очистки материалов 4
- - Вакуумная очистка и плазменная обработка 4.1
- - Зонная плавка 4.2
- - Молекулярная дистилляция 4.3
- Применение сверхчистых материалов в различных отраслях 5
- - Сверхчистые материалы в электронике 5.1
- - Сверхчистые материалы в оптике 5.2
- - Сверхчистые материалы в фармацевтике и атомной энергетике 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7