Содержание
- Введение 1
- Физические основы выращивания монокристаллов кремния 2
- - Метод Чохральского 2.1
- - Зонная плавка 2.2
- - Жидкофазный рост 2.3
- Основные параметры контроля при выращивании кристаллов 3
- - Контроль температуры 3.1
- - Контроль состава 3.2
- - Контроль дефектности 3.3
- Электронные средства контроля в процессе выращивания 4
- - Термоконтроль 4.1
- - Датчики состава 4.2
- - Оптический и рентгеновский контроль 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6