Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы спектроскопии 2
- - Взаимодействие излучения и вещества 2.1
- - Типы спектроскопических методов 2.2
- - Анализ спектров 2.3
- Спектроскопия тонких плёнок: особенности и применение 3
- - Оптическая спектроскопия тонких плёнок 3.1
- - Использование инфракрасной спектроскопии 3.2
- - Рентгеновская спектроскопия и методы рассеяния 3.3
- Практическое применение спектроскопии: примеры исследований 4
- - Исследование полупроводниковых плёнок 4.1
- - Анализ диэлектрических плёнок 4.2
- - Исследование металлических плёнок 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6