Содержание
- Введение 1
- Физические свойства и характеристики GaS и GaN 2
- - Электронная структура и подвижность носителей заряда 2.1
- - Теплопроводность и термическая стабильность 2.2
- - Диэлектрические свойства и их влияние на СВЧ характеристики 2.3
- Технологии изготовления СВЧ микросхем на основе GaS и GaN 3
- - Методы выращивания кристаллов и эпитаксиального роста 3.1
- - Фотолитография и травление 3.2
- - Металлизация и пассивация 3.3
- Применение GaS и GaN в СВЧ микросхемах: примеры и анализ 4
- - СВЧ усилители мощности на основе GaS и GaN 4.1
- - Генераторы СВЧ сигнала на основе GaS и GaN 4.2
- - СВЧ переключатели и аттенюаторы на основе GaS и GaN 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6