Содержание
- Введение 1
- Основные принципы электронно-ионных технологий 2
- - Физические основы электронно-ионного взаимодействия 2.1
- - Классификация электронно-ионных технологий 2.2
- - Параметры и характеристики электронно-ионных процессов 2.3
- Типы установок и оборудования для электронно-ионных технологий 3
- - Вакуумные системы и компоненты 3.1
- - Источники ионов и электронов 3.2
- - Системы управления и контроля 3.3
- Применение электронно-ионных технологий в различных областях 4
- - Электронно-ионные технологии в материаловедении 4.1
- - Электронно-ионные технологии в микроэлектронике 4.2
- - Другие области применения 4.3
- Конкретные примеры и данные исследований 5
- - Примеры практического применения 5.1
- - Анализ экспериментальных данных 5.2
- - Сравнение различных методов и технологий 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7