Содержание
- Введение 1
- Теоретические Основы Сканирующей Зондовой Микроскопии 2
- - Принцип работы СТМ 2.1
- - Типы зондов для СЗМ 2.2
- - Режимы сканирования в СЗМ 2.3
- Технологии Изготовления Зондов для СТМ 3
- - Методы травления зондов 3.1
- - Напыление и осаждение материалов 3.2
- - Применение микролитографии 3.3
- Автоматизированные Собственные Методы Измерения 4
- - Системы управления зондом 4.1
- - Автоматизация сбора данных 4.2
- - Калибровка и коррекция искажений 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6