Содержание
- Введение 1
- Фундаментальные Принципы Нанотехнологий 2
- - Физические основы наномира 2.1
- - Методы синтеза и характеризации наноматериалов 2.2
- - Свойства и типы наноматериалов 2.3
- Микросистемная Техника: Обзор и Принципы 3
- - Компоненты микросистем 3.1
- - Принципы работы MEMS 3.2
- - Микрооптомеханические системы (MOEMS) и их применение 3.3
- Интеграция наноустройств и микросистем 4
- - Методы интеграции наноматериалов и микросистем 4.1
- - Гибридные наноустройства: примеры и приложения 4.2
- - Перспективы развития интегрированных наноустройств 4.3
- Применение наноустройств и микросистемной техники 5
- - Нанотехнологии в электронике 5.1
- - Медицинские применения наноустройств 5.2
- - Нанотехнологии в энергетике и других отраслях 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7