Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы вакуумной откачки 2
- - Механические вакуумные насосы 2.1
- - Сорбционные и криогенные вакуумные насосы 2.2
- - Диффузионные и турбомолекулярные вакуумные насосы 2.3
- Влияние вакуума на работу электровакуумных и газоразрядных приборов 3
- - Электровакуумные приборы 3.1
- - Газоразрядные приборы 3.2
- - Методы контроля качества вакуума 3.3
- Конструирование и расчет вакуумных систем 4
- - Выбор компонентов вакуумной системы 4.1
- - Расчет параметров вакуумной системы 4.2
- - Материалы и технологии вакуумных систем 4.3
- Практическое применение вакуумных технологий 5
- - Производство электронных ламп 5.1
- - Применение в газоразрядных приборах 5.2
- - Современные вакуумные технологии и тенденции 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7