Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы вакуумной техники 2
- - Основы кинетической теории газов и свойства вакуума 2.1
- - Классификация вакуума и методы измерения давления 2.2
- - Газовыделение и его влияние на работу приборов 2.3
- Типы вакуумных насосов и их характеристики 3
- - Механические насосы: пластинчато-роторные и поршневые 3.1
- - Диффузионные и турбомолекулярные насосы: принцип работы и применение 3.2
- - Геттерные и криогенные насосы: специфика применения 3.3
- Особенности работы вакуумных насосов в электровакуумных и газоразрядных приборах 4
- - Вакуумная откачка в вакуумных лампах 4.1
- - Применение вакуума в газоразрядных приборах 4.2
- - Особенности вакуумной откачки в современных приборах 4.3
- Практическое применение вакуумных технологий и анализ данных 5
- - Примеры вакуумных систем в производстве электронных приборов 5.1
- - Анализ экспериментальных данных и моделирование вакуумных процессов 5.2
- - Рекомендации по выбору и обслуживанию вакуумного оборудования 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7