Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы получения тонких пленок 2
- - Физические основы процессов формирования пленок 2.1
- - Кристаллическая структура и дефекты в тонких пленках 2.2
- - Адгезия тонких пленок к подложке 2.3
- Основные технологии получения тонких пленок 3
- - Вакуумные методы нанесения покрытий 3.1
- - Химические методы нанесения покрытий 3.2
- - Золь-гель метод 3.3
- Физические свойства тонких пленок 4
- - Оптические свойства тонких пленок 4.1
- - Электрические свойства тонких пленок 4.2
- - Механические свойства тонких пленок 4.3
- Практические примеры и области применения тонких пленок 5
- Заключение 6
- Список литературы 7