Содержание
- Введение 1
- Материалы и технологические процессы в производстве полупроводниковых приборов 2
- - Подготовка кремниевых пластин 2.1
- - Диффузия и ионная имплантация 2.2
- - Создание оксидных слоев 2.3
- Особенности технологического процесса производства интегрального стабилизатора K56ИЕ10 3
- - Фотолитография и травление 3.1
- - Металлизация и пассивация 3.2
- - Проверка и тестирование 3.3
- Производство микросхем серий К426 и К224: Сравнительный анализ 4
- - Технологические особенности К426 4.1
- - Технологические особенности К224 4.2
- - Сравнение технологических процессов 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6