Содержание
- Введение 1
- Физические и химические свойства арсенида индия 2
- - Кристаллическая структура и решетка 2.1
- - Электронная структура и энергетический спектр 2.2
- - Оптическое поглощение и излучение 2.3
- Методы эпитаксиального выращивания пленок InAs 3
- - Молекулярно-лучевая эпитаксия (MBE) 3.1
- - Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) 3.2
- - Металлидорганическое химическое осаждение из газовой фазы (MOCVD) 3.3
- Влияние параметров выращивания на свойства InAs пленок 4
- - Температура подложки и скорость роста 4.1
- - Состав газовой смеси и стехиометрия пленок 4.2
- - Влияние дефектов и примесей 4.3
- Применение эпитаксиальных пленок InAs 5
- - Высокочастотные транзисторы (HBT) 5.1
- - Инфракрасные фотодетекторы 5.2
- - Термоэлектрические генераторы 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7