Содержание
- Введение 1
- Физические основы тлеющего барьерного разряда 2
- - Механизмы ионизации газа 2.1
- - Роль диэлектрических барьеров 2.2
- - Характеристики плазмы в ТБР 2.3
- Параметры и классификация тлеющего барьерного разряда 3
- - Влияние напряжения и частоты 3.1
- - Влияние давления газа 3.2
- - Геометрия электродов 3.3
- Применение тлеющего барьерного разряда 4
- - Обработка поверхностей 4.1
- - Стерилизация и дезинфекция 4.2
- - Модификация материалов 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6