Содержание
- Введение 1
- Физические основы формирования тонких пленок 2
- - Методы физического осаждения 2.1
- - Методы химического осаждения 2.2
- - Влияние параметров процесса на структуру пленки 2.3
- Материалы для тонкопленочных элементов 3
- - Металлические пленки 3.1
- - Полупроводниковые пленки 3.2
- - Диэлектрические пленки 3.3
- Технологии создания тонкопленочных элементов 4
- - Литография и маскирование 4.1
- - Травление и удаление материалов 4.2
- - Диффузия и имплантация ионов 4.3
- Применение тонкопленочных элементов в интегральных схемах 5
- - Тонкопленочные транзисторы 5.1
- - Тонкопленочные резисторы и конденсаторы 5.2
- - Микроэлектромеханические системы (MEMS) 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7