Содержание
- Введение 1
- Физические основы работы тонкопленочных резисторов 2
- - Материалы для тонких пленок 2.1
- - Механизмы проводимости в тонких пленках 2.2
- - Влияние температуры на сопротивление 2.3
- Технологии изготовления тонкопленочных резисторов 3
- - Вакуумное напыление 3.1
- - Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) 3.2
- - Трафаретная печать 3.3
- Параметры и характеристики тонкопленочных резисторов 4
- - Сопротивление и допуск 4.1
- - Температурный коэффициент сопротивления (ТКС) 4.2
- - Шумовые характеристики 4.3
- Области применения тонкопленочных резисторов 5
- - Применение в интегральных схемах 5.1
- - Применение в сенсорах 5.2
- - Применение в гибридных микросхемах 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7