Содержание
- Введение 1
- Физические основы и классификация "умных" материалов 2
- - Пьезоэлектрические материалы и их свойства 2.1
- - Термочувствительные материалы и материалы с памятью формы 2.2
- - Оптические и магнитные "умные" материалы 2.3
- Технологии синтеза и обработки "умных" материалов 3
- - Тонкопленочные технологии и методы осаждения 3.1
- - Технологии травления и формирования микроструктур 3.2
- - Литография и нанотехнологии 3.3
- Применение "умных" материалов в микроэлектронных устройствах 4
- - Сенсоры на основе "умных" материалов 4.1
- - Актуаторы и микромеханические системы 4.2
- - Устройства преобразования энергии и энергосберегающие технологии 4.3
- Примеры применения и практические результаты 5
- - Примеры применения пьезоэлектрических материалов в сенсорах давления и вибрации 5.1
- - Применение материалов с памятью формы в микроактуаторах 5.2
- - Исследования и разработки в области преобразования энергии 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7