Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы вакуума 2
- - Основные понятия и определения 2.1
- - Кинетическая теория газов в вакууме 2.2
- - Режимы течения газа 2.3
- Принципы работы манометров 3
- - Механические манометры 3.1
- - Электронные манометры 3.2
- - Тепловые манометры 3.3
- Масляные вакуумные насосы 4
- - Пластинчато-роторные насосы 4.1
- - Спиральные насосы 4.2
- - Обслуживание и эксплуатация 4.3
- Молекулярные и диффузионные насосы 5
- - Молекулярные турбонасосы 5.1
- - Диффузионные насосы 5.2
- - Сравнение и области применения 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7