Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы формирования покрытий 2
- - Механизмы адсорбции и диффузии 2.1
- - Термодинамика и кинетика роста покрытий 2.2
- - Влияние дефектов структуры на формирование покрытий 2.3
- Факторы, влияющие на структуру и свойства покрытий 3
- - Влияние температуры и давления 3.1
- - Состав газовой фазы и его влияние 3.2
- - Геометрия подложки и ее влияние на рост покрытий 3.3
- Методы контроля и управления процессом роста покрытий 4
- - Методы мониторинга параметров процесса 4.1
- - Методы контроля структуры и состава покрытий 4.2
- - Способы регулирования процесса роста покрытий 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6