Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы зонной плавки 2
- - Сегрегация примесей 2.1
- - Термодинамика процесса 2.2
- - Механизм перераспределения примесей 2.3
- Методы реализации зонной плавки 3
- - Плавучая зонная плавка (FZ) 3.1
- - Горизонтальная зонная плавка (HZ) 3.2
- - Выбор зонного материала 3.3
- Факторы, влияющие на эффективность очистки 4
- - Скорость перемещения зоны 4.1
- - Градиент температур 4.2
- - Атмосфера процесса 4.3
- Практическое применение и перспективы 5
- - Применение в микроэлектронике 5.1
- - Применение в солнечной энергетике 5.2
- - Перспективы развития технологии 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7