Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы СВЧ разрядов 2
- - Физические процессы в СВЧ плазме 2.1
- - Типы СВЧ разрядов 2.2
- - Влияние параметров СВЧ излучения 2.3
- Методы исследования СВЧ разрядов 3
- - Экспериментальные методы 3.1
- - Методы диагностики плазмы 3.2
- - Численное моделирование СВЧ разрядов 3.3
- Применение СВЧ разрядов в технологиях 4
- - Плазменная обработка материалов 4.1
- - Создание источников излучения 4.2
- - Другие применения 4.3
- Анализ и сравнение различных типов СВЧ разрядов 5
- - Сравнение физических характеристик 5.1
- - Сравнение эффективности различных типов разрядов 5.2
- - Рекомендации по применению 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7