Содержимое раздела
В этом разделе будут рассмотрены физические и химические процессы, происходящие в плазме, механизмы взаимодействия плазмы с материалами. Будут описаны различные типы плазмы (DC, RF, микроволновая и др.) и их особенности. Рассмотрены основные параметры плазмы, влияющие на процесс обработки, такие как мощность, давление, температура и состав газовой смеси. Особое внимание уделено механизмам генерации активных частиц в плазме и их роли в модификации поверхности материалов. Будет представлен обзор основных теорий, описывающих взаимодействие плазмы с твердыми телами.