Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы химического осаждения из жидкой фазы 2
- Материалы и методы исследования 3
- Оптимизация параметров процесса CSD 4
- Характеризация структуры и морфологии пленок платины 5
- Влияние отжига на свойства пленок платины 6
- Влияние добавок на процесс формирования пленок 7
- Анализ полученных результатов и обсуждение 8
- Заключение 9
- Список литературы 10