Содержание
- Введение 1
- Исторический Обзор Развития Микроэлектроники 2
- Основные Этапы Производства Микросхем 3
- Технологии Литографии 4
- Материалы для Производства Микросхем 5
- Современные Тенденции в Микроэлектронике 6
- Проблемы и Ограничения Современного Производства Микросхем 7
- Тестирование и Контроль Качества Микросхем 8
- Перспективы Развития Микроэлектроники 9
- Заключение 10
- Список литературы 11