Содержание
- Введение 1
- Физические основы ионных пучков 2
- - Основные характеристики ионных пучков 2.1
- - Взаимодействие ионов с веществом 2.2
- - Уравнения движения ионов в электрических и магнитных полях 2.3
- Методы формирования ионных пучков 3
- - Ионные источники 3.1
- - Ускорители ионов 3.2
- - Системы фокусировки и управления пучками 3.3
- Области применения ионных пучков 4
- - Ионная имплантация 4.1
- - Масс-спектрометрия 4.2
- - Ионно-лучевая обработка материалов 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6