Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы сверхвысокочастотных разрядов 2
- - Механизмы генерации плазмы в СВЧ-разрядах 2.1
- - Характеристики плазмы в СВЧ-разрядах 2.2
- - Влияние давления газа на характеристики разряда 2.3
- Методы диагностики сверхвысокочастотных разрядов 3
- - Оптическая спектроскопия СВЧ-разрядов 3.1
- - Зондовые методы диагностики 3.2
- - Интерферометрия и другие методы 3.3
- Практическое применение сверхвысокочастотных разрядов 4
- - СВЧ-разряды в материаловедении 4.1
- - СВЧ-разряды в биомедицине 4.2
- - Другие области применения 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6