Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы метода Чохральского 2
- - Термодинамика процесса 2.1
- - Кинетика роста кристаллов 2.2
- - Дефекты кристаллической структуры 2.3
- Технологический процесс выращивания монокристаллов кремния 3
- - Подготовка сырья и тигли 3.1
- - Формирование кристалла и контроль параметров 3.2
- - Допирование и контроль примесей 3.3
- Факторы, влияющие на качество монокристаллов 4
- - Влияние скорости роста 4.1
- - Роль чистоты исходного материала 4.2
- - Контроль атмосферы и предотвращение загрязнения 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6