Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы механики тонких пленок 2
- - Напряжения и деформации в тонких пленках 2.1
- - Влияние дефектов структуры на механические свойства 2.2
- - Основные модели расчета напряженно-деформированного состояния 2.3
- Виды нестабильности тонких пленок 3
- - Коробление и скручивание тонких пленок 3.1
- - Образование трещин и разрушение пленки 3.2
- - Отслоение пленки от подложки 3.3
- Факторы, влияющие на стабильность тонких пленок 4
- - Влияние материала и толщины пленки 4.1
- - Роль подложки и адгезии 4.2
- - Влияние условий нанесения и окружающей среды 4.3
- Практические примеры и методы повышения стабильности 5
- - Нестабильность тонких пленок в микроэлектронике 5.1
- - Методы повышения стабильности тонких пленок 5.2
- - Применение методов компьютерного моделирования 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7