Содержание
- Введение 1
- Основы МЭМС технологий 2
- - Принципы работы и типы МЭМС 2.1
- - Технологические процессы изготовления МЭМС 2.2
- - Материалы для МЭМС 2.3
- Сухое нанотехнологическое производство 3
- - Методы сухого нанотехнологического производства 3.1
- - Преимущества и недостатки сухих методов 3.2
- - Создание наноструктур различной формы и размера 3.3
- Области применения МЭМС и сухого нанотехнологического производства 4
- - МЭМС в автомобильной промышленности 4.1
- - МЭМС и нанотехнологии в медицине 4.2
- - Оборонная промышленность и экологический мониторинг 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6