Содержание
- Введение 1
- Физические основы процесса откачки 2
- - Кинетическая теория газов и молекулярный поток 2.1
- - Вязкость и импульсная передача 2.2
- - Влияние давления и температуры 2.3
- Конструкция диффузионных насосов 3
- - Диффузор и его геометрия 3.1
- - Система конденсации и охлаждения 3.2
- - Рабочие жидкости и их свойства 3.3
- Области применения и характеристики 4
- - Применение в вакуумных технологиях 4.1
- - Сравнение с другими вакуумными насосами 4.2
- - Технико-экономические показатели 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6