Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы вакуумных процессов 2
- - Основные законы газовой динамики 2.1
- - Типы вакуумных насосов и их характеристики 2.2
- - Определение скорости откачки 2.3
- Моделирование процесса откачки распределенной системы 3
- - Модель откачки однородного объема 3.1
- - Модель распределенной системы с несколькими сосудами 3.2
- - Учет проницаемости материалов 3.3
- Практический пример расчета времени откачки 4
- - Описание рассматриваемой системы 4.1
- - Результаты численного моделирования 4.2
- - Оптимизация параметров системы 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6