Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы поверхностно-акустических волн 2
- - Принципы генерации и распространения ПАВ 2.1
- - Влияние материала подложки на параметры ПАВ 2.2
- - Параметры ПАВ-сенсоров и их чувствительность 2.3
- Технологии изготовления сенсоров на ПАВ 3
- - Методы формирования ПАВ-структур 3.1
- - Нанесение и структурирование чувствительных слоев 3.2
- - Контроль качества и тестирование готовых сенсоров 3.3
- Автоматизация измерительной установки для анализа ПАВ-сенсоров 4
- - Компоненты измерительной установки 4.1
- - Методы сбора и обработки данных 4.2
- - Программное обеспечение для управления установкой 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6