Содержание
- Введение 1
- Материалы для производства полупроводников 2
- - Кремний: основа современной полупроводниковой промышленности 2.1
- - Соединения III-V группы: арсенид галлия и другие 2.2
- - Новые материалы для полупроводников: перспективные направления 2.3
- Основные этапы производства полупроводниковых приборов 3
- - Фотолитография: формирование рисунка на полупроводниковой пластине 3.1
- - Травление и диффузия: создание структур полупроводникового прибора 3.2
- - Осаждение тонких пленок: формирование слоев полупроводникового прибора 3.3
- Современное оборудование для производства полупроводников 4
- - Литографические установки: от DUV до EUV 4.1
- - Оборудование для осаждения тонких пленок: PVD, CVD, ALD 4.2
- - Контрольно-измерительное оборудование: обеспечение качества производства 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6