Содержание
- Введение 1
- Материалы, используемые в производстве интегральных микросхем 2
- - Кремний: свойства и применение 2.1
- - Диэлектрики и их роль в микросхемах 2.2
- - Металлы и сплавы для металлизации 2.3
- Основные технологические процессы изготовления интегральных микросхем 3
- - Фотолитография: формирование рисунка на кремниевой пластине 3.1
- - Диффузия и ионная имплантация: введение примесей в кремний 3.2
- - Травление и металлизация: формирование структуры микросхемы 3.3
- Контроль качества и тестирование интегральных микросхем 4
- - Дефекты в интегральных микросхемах и методы их выявления 4.1
- - Методы электрического тестирования микросхем 4.2
- - Методы повышения надежности и долговечности микросхем 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6