Содержание
- Введение 1
- Теоретические Основы Микросистемотехники 2
- - Основные Физические Принципы MEMS 2.1
- - Типы MEMS-сенсоров и Актуаторов 2.2
- - Материалы для MEMS 2.3
- Технологии Производства MEMS 3
- - Микролитография и Травление 3.1
- - Осаждение Тонких Пленок 3.2
- - Сборка и Упаковка MEMS 3.3
- Области Применения Микросистемотехники 4
- - MEMS в Автомобильной Промышленности 4.1
- - MEMS в Медицине 4.2
- - MEMS в Потребительской Электронике 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6