Содержание
- Введение 1
- Основные принципы и методы нанолитографии 2
- - Оптическая нанолитография 2.1
- - Электронно-лучевая литография 2.2
- - Самоорганизация молекул 2.3
- Материалы, используемые в нанолитографии 3
- - Фоторезисты 3.1
- - Металлические плёнки 3.2
- - Полупроводниковые материалы 3.3
- Практические примеры применения нанолитографии 4
- - Создание нанотранзисторов 4.1
- - Разработка оптических метаматериалов 4.2
- - Производство биосенсоров 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6